微机电系统技术的发展趋势研究
- 作者
- 刘锦
- 作者单位
- 泰山医学院
- 刊名
- 机电产品开发与创新
- 年份
- 2008
- 卷号
- 第21卷
- 期号
- 第4期
- 页码
- 42-44
- ISSN
- 1002-6673
- 分类号
- TH703
- 摘要
- 微机电系统技术作为新的技术领域,已经显示出强大的生命力。本文分析了微机电系统的内涵以及分类,指出了微机电系统的发展趋势和面临的主要挑战。
- 学科
- 【教育部学科】工学
- 文献类型
- 期刊
- 浏览量
- 39
-
被引次数
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